實驗室工藝設備
單室/多室全自動PECVD平臺，工件6-12英寸標準硅片，集成氣路柜、真空機械手傳輸、氮氣封閉環境片盒。
Learn more北京捷造光電技術有限公司
關于我們
致力于光伏和半導體裝備技術的投資、開發、應用和推廣
公司簡介
北京捷造光電技術有限公司成立于2010年，位于北京亦莊經濟技術開發區，公司面向光伏和半導體領域開發和推廣薄膜沉積工藝裝備技術，其中包括在PVD（磁控濺射、有機及金屬共蒸發、反應離子沉積等）、CVD（PECVD、LPCVD等）和ALD原子層沉積等薄膜工藝設備。
公司開發的的專用部件和儀器，應用于光伏和半導體工藝設備，解決工藝制程中核心操作，這些部件包含等離子體發生、濺射陰極、蒸發源、壓力控制閥、門閥、真空機械手、膜厚測量儀等。
我們的技術和服務
我們為大學實驗室、科研機構、企業材料實驗室提供標準6-12英寸PECVD、PVD等實驗裝備方案；為生產企業提供量產PECVD、PVD以及核心部件的技術解決方案。
量產設備技術
產能可達12000-24000pcs/h的量產PECVD和PVD產線，兼容M6-M12整片/半片的HJT電池產線
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